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原因
措施
Flow# 压力/流量偏置值存在偏差[错误代码:2338 2339 2340 2341 2342 2343]
原因
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流量控制器的压力传感器的输出值变化很大。
措施
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有压力传感器异常的可能性。停止气体供给,关闭仪器的主电源,并与您所在区域内的乐鱼在线官网平台·(中国)官方网站分公司联系。
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