气体切换模块n辅达不到设定值[错误代码:2350 2351]

原因¶

由于压力控制错误(泄漏到外部)，压力不会上升到设定值。

措施¶

请确认气体有正常供给，气路连接部分没有泄漏。根据泄漏的程度和压力设置，可能会在辅模块之外的部分发生泄漏。