无法连接到SCD流量控制器2[错误代码:6152]

原因¶

无法与SCD气体控制用的流量控制器进行通信。

措施¶

请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并向您所在区域内的乐鱼在线官网平台·(中国)官方网站分公司咨询部件更换事宜。