SCD流量控制器2异常[错误代码:6178]

原因¶

SCD气体控制的流量控制器出现意外错误。

措施¶

请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的乐鱼在线官网平台·(中国)官方网站分公司联系。